Az O sorozatot a nagy teljesítményt a kis mérési spotmérettel ötvözi. A poli-kapilláris optikai rendszer lehetővé teszi, hogy intenzitásesés nélkül kis spot mérettel (80 μm FWHM) történő mérést. Az rendszerrel nagyobb érzékenységgel mérhetőek nagyon kicsi alkatrészek, vékony bevonatok. A rövid mérési idők lehetővé teszik a gyors és nagyszámú méréseket.
A standard konfiguráció 80μm-es optikát, programozható X-Y mintaasztalt és nagy felbontású SDD detektort tartalmaz a nagyobb számlálási sebességek feldolgozásához. A kamera 45x-ös nagyítást és 5x nagyobb digitális zoomot tesz lehetővé. Az optikai rendszernek nagyon közeli gyújtópontja van ezért a mintáknak síknak kell lenniük.
